Optimization of Pb (Zrx, Ti1-x) 03 films for MEMS applications.
Optimisation de films de Pb (Zrx, Ti1-x) 03 pour des applications MEMS.
Stéréolithographie pour la fabrication de composites céramiques piézoélectriques. Stereolithography of piezoelectric PZT polymer composites. Propriétés mécaniques du nickel utilisé en LIGA-X et UV.
Mechanical properties of nickel used in LIGA technique. Micromanipulation par adhésion. Modélisation dynamique et expérimentations.
Micromanipulation by adhesion. Dynamic modeling and experiments.
Micronanomanipulation à distance avec rétroaction visuelle et tactile sous MEB par utilisation d'un levier d'AFM piézorésistif. Remote controlled micro-nano-manipulation with visual and force feedbacks using a piezoresistive cantilever.
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